Substrat MgF2
Opis
MgF2 stosowany jest jako soczewka, pryzmat i okno dla długości fali od 110 nm do 7,5 μm.Jest to najbardziej odpowiedni materiał na okno dla lasera ekscymerowego ArF ze względu na dobrą transmisję przy 193 nm.Jest również skuteczny jako polaryzacja optyczna w obszarze ultrafioletu.
Nieruchomości
| Gęstość (g/cm3） | 3.18 |
| Temperatura topnienia (℃) | 1255 |
| Przewodność cieplna | 0,3 Wm-1K-1 przy 300K |
| Rozszerzalność cieplna | 13,7 x 10-6 /℃ równoległa oś c 8,9 x 10-6 /℃ prostopadła oś c |
| Twardość Knoopa | 415 z wgłębnikiem 100g (kg/mm2) |
| Specyficzna pojemność cieplna | 1003 J/(kg.k) |
| Stała dielektryczna | 1,87 przy równoległej osi c 1 MHz 1,45 przy 1 MHz prostopadłej osi c |
| Moduł Younga (E) | 138,5 GPa |
| Moduł ścinania (G) | 54,66 GPa |
| Moduł objętościowy (K) | 101,32 GPa |
| Współczynnik sprężystości | C11=164;C12=53;C44=33,7 C13=63;C66=96 |
| Pozorna granica sprężystości | 49,6 MPa (7200 psi) |
| współczynnik Poissona | 0,276 |
Definicja substratu MgF2
Podłoże MgF2 odnosi się do podłoża wykonanego z materiału krystalicznego fluorku magnezu (MgF2).MgF2 to związek nieorganiczny składający się z pierwiastków magnezu (Mg) i fluoru (F).
Podłoża MgF2 mają kilka godnych uwagi właściwości, które czynią je popularnymi w różnych zastosowaniach, szczególnie w dziedzinie optyki i osadzania cienkowarstwowego:
1. Wysoka przezroczystość: MgF2 ma doskonałą przezroczystość w zakresie ultrafioletu (UV), światła widzialnego i podczerwieni (IR) widma elektromagnetycznego.Ma szeroki zakres transmisji od ultrafioletu przy około 115 nm do podczerwieni przy około 7500 nm.
2. Niski współczynnik załamania: MgF2 ma stosunkowo niski współczynnik załamania światła, co czyni go idealnym materiałem na powłoki AR i optykę, ponieważ minimalizuje niepożądane odbicia i poprawia przepuszczalność światła.
3. Niska absorpcja: MgF2 wykazuje niską absorpcję w zakresie widma ultrafioletowego i widzialnego.Ta właściwość czyni go użytecznym w zastosowaniach wymagających dużej przejrzystości optycznej, takich jak soczewki, pryzmaty i okna dla wiązek ultrafioletowych lub widzialnych.
4. Stabilność chemiczna: MgF2 jest stabilny chemicznie, odporny na szeroką gamę substancji chemicznych i zachowuje swoje właściwości optyczne i fizyczne w szerokim zakresie warunków środowiskowych.
5. Stabilność termiczna: MgF2 ma wysoką temperaturę topnienia i może wytrzymać wysokie temperatury robocze bez znaczącej degradacji.
Podłoża MgF2 są powszechnie stosowane w powłokach optycznych, procesach osadzania cienkowarstwowych oraz oknach lub soczewkach optycznych w różnych urządzeniach i systemach.Mogą również służyć jako warstwy buforowe lub szablony do wzrostu innych cienkich warstw, takich jak materiały półprzewodnikowe lub powłoki metaliczne.
Podłoża te są zazwyczaj wytwarzane przy użyciu technik takich jak osadzanie z fazy gazowej lub metody fizycznego transportu pary, gdzie materiał MgF2 osadza się na odpowiednim materiale podłoża lub hoduje jako pojedynczy kryształ.W zależności od wymagań aplikacji podłoża mogą mieć postać płytek, płytek lub kształtów niestandardowych.
