Substrat SrTiO3
Opis
Monokryształ SrTiO3 ma dobrą strukturę sieciową materiału o strukturze perowskitu.Jest doskonałym materiałem podłoża do wzrostu epitaksji HTS i większości warstw tlenkowych.Jest szeroko stosowany w badaniach cienkich warstw nadprzewodników wysokotemperaturowych.Jest również szeroko stosowany w specjalnych oknach optycznych i wysokiej jakości obiektach do rozpylania.
Nieruchomości
Orientacja: (100) +/-0,5 stopnia
Wskazanie orientacji krawędzi: <001> +/-2 stopnie dostępne jako opcja za dodatkową opłatą
Polerowanie: Jednostronne EPI polerowane technologią CMP z mniejszymi uszkodzeniami siatki podpowierzchniowej.
Opakowanie: Zapakowane w plastikową torbę klasy 100 w pomieszczeniu czystym klasy 1000.
| Struktura krystaliczna | Sześcienny, a=3,905 A |
| Metoda wzrostu | Vernuil |
| Gęstość (g/cm3） | 5.175 |
| Temperatura topnienia (℃) | 2080 |
| Twardość (Mho) | 6 |
| Rozszerzalność cieplna | 10,4 (x10-6/ ℃) |
| Stała dielektryczna | ~ 300 |
| Tangens straty przy 10 GHz | ~5x10-4@ 300 tys., ~3 x 10-4@77 tys |
| Kolor i wygląd | Przezroczysty (czasami lekko brązowy w zależności od stanu wyżarzania). Brak bliźniaków |
| Stabilność chemiczna | Nierozpuszczalne w wodzie |
Definicja substratu SrTiO3
Podłoże SrTiO3 odnosi się do krystalicznego podłoża wykonanego ze związku tytanianu strontu (SrTiO3).SrTiO3 to materiał perowskitowy o sześciennej strukturze kryształu, który charakteryzuje się wysoką stałą dielektryczną, wysoką stabilnością termiczną i dobrym dopasowaniem sieciowym do wielu innych materiałów.
Podłoża SrTiO3 są szeroko stosowane w dziedzinie osadzania cienkich warstw i wzrostu epitaksjalnego.Sześcienna struktura SrTiO3 umożliwia wzrost wysokiej jakości cienkich warstw o doskonałej jakości krystalicznej i niskiej gęstości defektów.To sprawia, że podłoża SrTiO3 bardzo nadają się do hodowli warstw epitaksjalnych i heterostruktur do różnych zastosowań.
Wysoka stała dielektryczna SrTiO3 sprawia, że nadaje się on do zastosowań takich jak kondensatory, urządzenia pamięci i cienkie warstwy ferroelektryczne.Jego stabilność termiczna sprawia, że nadaje się do zastosowań wysokotemperaturowych.
Ponadto różnorodne właściwości SrTiO3, takie jak przewodnictwo metaliczne w niskich temperaturach i możliwość indukowania stanu nadprzewodnictwa, czynią go przydatnym w badaniach fizyki materii skondensowanej oraz rozwoju urządzeń elektronicznych i optoelektronicznych.
Podsumowując, podłoża SrTiO3 to podłoża krystaliczne wykonane z tytanianu strontu, które są powszechnie stosowane w osadzaniu cienkowarstwowym, wzroście epitaksjalnym oraz w szerokim zakresie zastosowań elektronicznych i optoelektronicznych ze względu na ich wysoką stałą dielektryczną, stabilność termiczną i dobre właściwości dopasowywania sieci.
